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D07-9E系列质量流量控制器
更新工夫:###
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、反复性好、呼应速率快、软启动、波动******、事情压力范畴宽等特点(可以在高压或真空条件下...
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D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、反复性好、呼应速率快、软启动、波动******、事情压力范畴宽等特点(可以在高压或真空条件下事情), 接纳国际尺度讨论, 其操纵利用利便, 可恣意地位安置,  并便于与盘算机毗连完成主动控制。
 
 D07-9E 型 MFC 功能目标
编号 项 目 D07-9E 型
1 流量规格 ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM
2 ******度 ±2 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 反复精度 ±0.2 % F.S
5 呼应工夫 (1 ~ 4) sec
 
6
 
事情压差范畴
20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa (7.3~43.5 psid)
50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa (21.8~43.5 psid)
7 耐压 3 MPa (435.1 psig)
8 事情情况温度 5  ℃ ~ 45 ℃
9 输出输入信号 0 V ~ +5.00 V
(输出阻抗大于 100K, 输入电流不大于 3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
-15V 400 mA
11 形状尺寸 167*45*140
12 分量 2.6 kg
 
 
 
 
 
 
 
 
 

D07-9EM  型功能目标
编号 项 目 D07-9EM 型
1 流量规格 ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM
2 ******度 ±2 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 反复精度 ±0.2 % F.S
5 呼应工夫 1~4 sec
6 气压降 20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
7 耐压 3 MPa  (435.1 psig)
8 事情情况温度 5  ℃ ~ 45 ℃
9 输入信号 0 V ~ +5.00 V
(输出阻抗大于 100K, 输入电流不大于 3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
-15 V 50 mA
11 形状尺寸 142*45*140
12 分量 1.5 kg
 
各型号产品的次要技能目标见表 1 和表 2。此中 9EM 型是 9E 型的流量丈量局部,流量计量局部的技能目标相反。

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定质量流量的单元划定为: SCCM (尺度毫升/分);
SLM (尺度升/分)
尺度形态划定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压  101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 满量程值